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用光纤M-Z干涉仪表征光栅尺精度研究开题报告

 2022-12-06 09:43:41  

1. 研究目的与意义

精密光栅测量系统是现代制造装备的关键核心部件,是闭环加工精度的重要保证,直接决定一个国家装备制造水平,其战略意义十分重大。多年以来,欧、日、美等国通过开发精密光栅尺来确保它们在高端装备产业处于世界领先地位。目前国际上主要生产绝对光栅尺的厂家主要有:德国海德汉公司、美国的microe公司、日本三丰公司以及英国的雷尼绍公司等,这几家公司基本垄断了全球精密光栅尺的市场份额,在相关下游装备产业拥有巨大的控制能量。

国内对增量式光栅尺的研究于上世纪六十年代开始起步,经过数十年的努力研发,在直线光栅尺与圆光栅领域已经开发出稳定成熟的产品,但因分辨率、测量精度、测量速度不高,只能在一些对精度性能要求不高的设备中使用,无法在高端的光栅尺市场得到足够份额。

绝对式光栅尺的研制于2010年左右开始,长春光机所、北京机床研究所、国防科技大学、吉林大学、广东工业大学等单位均在此领域进行相关研究。其中,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所开发出的jc系列绝对式光栅尺,成功与数控系统完成对接,但由于种种因素,自2014年宣布研制成功之后,直到目前也无法形成真正的产业化生产,其在算法冗余、抗污抗振及响应速度方面,仍有待提高。

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2. 研究内容与预期目标

研究内容:

1、深入分析增量式光栅尺与绝对式光栅尺的测量原理、通讯方式和影响其测量精度的误差因素,为光栅尺精度检测系统的设计提供依据,最终提出了光栅尺精度检测与误差补偿的具体方案;

2、设计与搭建光栅尺精度检测平台,高精度位置反馈仪器的选型与安装。

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3. 研究方法与步骤

研究方法:

1、通过查阅文献的方法完成理论研究;

2、通过实验的方法对设计的可行性进行验证,并最终完成论文目标。

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4. 参考文献

[1]刘增基等.光纤通信.西安:西安电子科技大学出版社,2001

[2]光纤通信技术,董天临编著

[3]光纤光学,清华大学出版社,廖延彪著

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5. 工作计划

1、第一周至第五周:查阅相关资料,写出开题报告

2、第六周至第七周从事英文翻译同时深入理解参考文献内容

3、第七周至第九周设计光纤m-z干涉仪实验、 研究与调谐特性之间关系

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